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반도체 세정기
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제품개요

  • 반도체 라인의 PKG 공정에서 MZ Slot / MAKING 공정 후 PCB 표면을 세정하는 설비로 Magazine에 삽입되어 있는 상태에서 그대로 투입되므로 공정과 공정의 이송 간 쉽게 적용이 가능하다 균일한 기포핵을 생성하는 WRS를 적용하여 초음파의 효과를 높이고, 제품에 적합한 초음파와 린스조를 구성하여 제품에 Damage가 없도록 하였다. 건조 공정은 감압 방식으로 접촉되어 있는 제품이나 작은 틈새 등에 유리한 진공건조 방식을 적용하여 완전 건조가 가능하다.

제품특징

  • 진공 건조 방식으로 2차 오염 방지 및 건조시간 단축
  • Compact한 설계로 이동 및 설치가 용이
  • Magazine에 적재 된 상태에서 세정하므로 물류(자동화) 구성이 용이
  • 연속 생산에 적합하고 Maintenace가 용이함

제품사양

Section구분SpecificationRemark
Utility 전원 3상 220V, 60Hz 소비전력 20kW
Compressed air 6kg/㎠-80L/min PIPE 15A
냉각수 15L/min PIPR 15A
Di Wate 20L/min PIPR 15A
Tank 1차 Tank 42L -
2차 Tank 42L -
베수 Drain Ø 1 ½” PIPE 40A
color 주문사양